Makmal Sel Suria Silikon Termaju

Makmal ini terletak berhadapan bangunan Kompleks Penyelidikan, UKM dan peralatan-peralatan makmal ini dikategorikan Kelas Croom 100 dengan kemudahan POCl3, PECVD dan sistem wap punaran dengan sambungan elektrik, kabinet gas, saluran penyah penggahar, kunci keselamatan, penyaman udara dan lain-lain.

1. Pemasangan POCl3 and Tempat Basah

Relau tiub tunggal, unit mandiri, sistem tiga zon dengan maksimum 1300C, suhu, pengawal boleh atur digital, input dua gas, kabinet – dua gas, diameter tiub kuarza – 8″, panjang 36″, sistem yang lengkap dengan POCl3 hookup, sensor dan skrin untuk keselamatan.

2. Sistem PECVD Nitrid

Pemendapan suhu rendah bagi silikon nitrid melalui plasma yang dipertingkatkan pemendapan wap kimia, Komputer antara muka untuk kuasa RF, aliran gas dan tekanan, pengawal aliran jisim dan Plasma Generator Tenaga Termaju PE -2500 . Wafer ukuran diameter dalam 4 ” – 14 ” bagi setiap ujian dijalankan dengan kadar punaran khas 400 angstrom seminit.

3. Pencetak Dua Skrin

Sambungan sel suria depan dan belakang, kawasan cetak sehingga 18″, sel suria topeng skrin sentuhan sel untuk 4 “dan 6″ diameter wafer , pelarasan xy sehingga ~± 12 mm , pengulangan ~± 20 mm , pelarasan putaran ~± 5 darjah, ketinggian pelarasan ~ 1″, kelajuan putaran sehingga 12” sesaat , pes Al dan Ag untuk sambungan, satu sistem baru, dan salah satu peralatan terpakai (belakang permukaan).

4. Relau Pemanasan Terma Pantas

Pembentukan permukaan lapangan belakang, pemanasan sambungan skrin cetakan, lebar tali pinggang 9″, panjang 30 inci, kelajuan 0-6ipm dikawal secara digital, tiga zon, maksimum suhu 1000C, pemanas wayar tungsten, peralatan terpakai.

5. Sistem Penteksturan dan Pengasingan Kelebihan Tanpa Plasma

Sistem punaran multi-wap mampu punaran 4″ – 8″ wafer, sumber tiga wap, berasaskan PC dengan antara muka LabVIEW , dikonfigurasikan untuk pengasingan kelebihan dan permukaan penteksturan, dibekalkan dengan kristal XeF2.

6. Implantasi Rendaman Ion Plasma

Salah satu daripada ciri peralatan adalah sistem BF3 plasma doping untuk wafer, diameter sehingga 8″, berasaskan PC dengan antara muka LabVIEW, kawalan suhu, pengawal aliran jisim, vakum pam turbo dan ciri-ciri keselamatan.

7. Sistem Satu-Matahari LIV dan SSpectral Response System

Berdasarkan teknologi MOS-transistor, mampu mengukur pelbagai kuasa (~ 0.2-100 Watt), berasaskan PC dengan antara muka LabVIEW , sambutan spektrum dalam julat antara 0.3 – 1.2 mm.

8. Pemotong Hiris

Pemotong Hiris berautomasi, mampu menghiris wafer 4”-6”.

9. Penguji Modul

Berdasarkan teknologi MOS-transistor, mampu mengukur dalam julat kuasa yang besar (~ 0.2 – 100 Watt), berasaskan PC dengan antara muka LabVIEW, besar kawasan.

10. Pelamina

Untuk modul lamina dengan kaca depan dan belakang, kaca dan aluminium, kaca dan tedlar atau tefzel – tedlar atau modul dengan kaca atau depan tefzel dan gentian kaca belakang. Plat ini membolehkan untuk pelaminan modul sehingga 625 mm x 625 mm (24″ x 24″).

Makmal ini berupaya untuk mengeluarkan sehingga 80 W panel.