Sejarah
Aktiviti penyelidikan mikroelektronik bermula pada tahun 1988 di Jabatan Kejuruteraan Elektrik, Elektronik dan Sistem, tetapi dalam skala yang kecil dan lebih fokus kepada reka bentuk litar bersepadu (IC), fabrikasi peranti secara sederhana, seperti diod Schootky, pemodelan dan juga teori. Seterusnya, Penyelidikan dalam bidang elektronik organik bermula sejak tahun 1987 di makmal fizik kegunaan Jabatan Fizik. Pada tahun 1992 lapisan oksida yang pertama telah dikembangkan menggunakan pengoksidaan thermal mini yang disumbangkan oleh Prof. Shono dari Universiti Sophia, Tokyo.
Pada tahun 1993, makmal mikroelektronik Jabatan Kejuruteraan Elektrik, Elektronik dan Sistem telah diiktiraf oleh Bahagian R & D Telekom Malaysia sebagai pusat kecemerlangan dalam bidang mikroelektronik dan menyediakan geran penyelidikan sebesar 1 juta ringgit kepada UKM untuk membantu penubuhan makmal penyelidikan yang dikenali sebagai Makmal mikrofabrikasi UKM-Telekom. Semua aktiviti memberi tumpuan kepada proses fabrikasi menggunakan teknologi silikon.
Pada bulan Disember 1997 Makmal mikrofabrikasi telah dinaikkan taraf kepada sebuah pusat penyelidikan dengan kawasan lantai yang lebih besar termasuk penubuhan bilik bersih kelas 1000 untuk aktiviti penyelidikan GaAs dan makmal reka bentuk MMIC. Pusat penyelidikan ini dikenali sebagai UKM-TM Pusat Penyelidikan Mikroelektronik (Merc) di bawah Fakulti Kejuruteraan, UKM dan TM R & D Sdn Bhd. MERC adalah satu satunya pusat penyelidikan yang dilengkapi dengan kemudahan mikrofabrikasi semikonduktor untuk tujuan pengajaran dan penyelidikan di Malaysia.
Pada bulan November 2002, Kementerian Pendidikan telah meluluskan penubuhan Institut Kejuruteraan Mikro dan Nanoelektronik (IMEN) sebagai salah satu entiti di bawah naungan Universiti. Institut penyelidikan ini memberi tumpuan kepada enam penyelidikan tema utama, iaitu Sistem MikroElektroMekanikal (MEMS), Teknologi Frekuensi Tinggi bagi Telekomunikasi (kerjasama dengan TMR & D Sdn Bhd), Sistem VLSI, Teknologi Fotonik, Elektronik organik dan Nanoelektronik.
