Magnetron Sputering System

JENAMA & MODEL

K.J Lesker PVD 75

LOKASI ALAT:

L115, Bangunan Sains Fizik

PENGENALAN ALAT:

Alat penyelidikan ini digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor untuk mendapan filem nipis (thin film) dalam pemprosesan litar bersepadu selain digunakan dalam tujuan bidang penyelidikan. Sputtering bermaksud memercikkan sesuatu bahan daripada sasaran kepada substrat seperti wafer silikon dan slaid kaca. Sasaran merupakan sumber bahan yang hendak dimendapkan ke atas substrat. Contoh bahan yang lazimnya digunakan sebagai sasaran ialah bahan logam seperti aluminium, kromium, emas, perak dan kuprum serta bukan logam seperti zink oksida, timah oksida, karbon dan sebagainya.

KEGUNAAN ALAT:

–

KEADAAN SAMPEL:

–

JUMLAH MINIMA SAMPEL DIPERLUKAN:

–

KEPERLUAN KHUSUS SAMPEL:

–

TEMPOH ANALISIS:

–

KEUPAYAAN ANALISIS DILAKUKAN SEHARI:

–

KOS ANALISIS:

STATUS	KOS (RM)/penggunaan	CATATAN
KAKITANGAN/ PELAJAR UKM Luar PPFG (FST) Luar Fakulti	50.00 80.00	–
BADAN KERAJAAN/ BERKANUN	100.00 + CBP 6%
PELAJAR LUAR UKM/SWASTA	100.00 + CBP 6%

WAKTU OPERASI:

Sila berjumpa dengan operator berkenaan

PENYELARAS ALAT:

Prof. Madya Dr. Mohamad Hafizzudin Hj. Jumali
Email: hafizhj@ukm.edu.my
No Tel: 03-89215895
No Bilik: 1129F,Bangunan Sains Fizik PPF

PEGAWAI SAINS KANAN:

OPERATOR:

Idris bin Zulkifle

Email: idris@ukm.edu.my
No Tel: 03-89214783
No Bilik: 1106

Tuan Hj. Mohd Lahudi Saruri
Email: lahudi@ukm.edu.my
No Tel: 03-89213846
No Bilik: Aras 1 ,Bangunan Sains Fizik PPFG